东莞市嘉乐德润滑材料广发(中国) 全氟聚醚润滑脂|全氟聚醚润滑油|干膜润滑剂|电子氟化液
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2025-12-03 08:35:28
3nm 先进半导体制程对配套材料的性能要求达到新高度，电子氟化液作为温控和清洗介质，必须适配更严苛的工艺标准，油邦手电子氟化液系列完全满足这一要求。该电子氟化液的金属杂质含量 < 1ppt，达到超高纯度标准，避免了杂质污染晶圆；在光刻环节控温精度 ±0.05℃，蚀刻环节晶圆温度波动 250℃，能适配化工反应器 - 20℃至 150℃的工作温度区间，即使在反应器升温、降温的剧烈变化中，也能保持稳定的控温性能。电子氟化液的化学惰性确保了不会与反应器内的化工原料发生反应，且无残留、不污染产物，同时热传导效率高，能快速响应反应器的温度调节需求，让电子氟化液成为化工控温的可靠介质。油邦手电子氟化液无色无味无刺激，操作人员使用更**，提升作业环境舒适度。
半导体蚀刻环节的温度波动会直接影响晶圆加工精度，电子氟化液成为该环节温控的选择，油邦手电子氟化液系列能满足蚀刻工艺的温度要求。在干法刻蚀环节，电子氟化液需将刻蚀腔体温度控制在 15-40℃，控温精度 ±0.1℃，同时将晶圆温度波动控制在
