北京三坐标测量仪精密温控 推荐咨询 南京拓展科技供应

极测（南京）微环境控制系统设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h，有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题，延长立式干涉仪使用寿命。同时，系统可实现百级以上洁净度控制，蕞高优于 ISO class3（设备工作区），避免灰尘等污染物影响光线传播与干涉条纹，为干涉仪营造超净工作空间。 智能功能助力运维极测微环境控制系统具备强大的数据实时记录查询功能。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线，便于操作人员直观掌握环境变化。微环境控制系统数据自动保存且可随时导出，运行状态与故障状态同步记录，方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。此外，自动**保护系统可实现故障自动保护，确保设备全天候稳定运行，减少因故障导致的测量中断。在一些化学蚀刻工艺中，湿度过高或过低都会影响蚀刻速度和精度，蕞终影响芯片的良品率。北京三坐标测量仪精密温控

打造高“温度精度”，避免热致误差温度是影响测量精度的首要因素。极测精密环控柜采用自主研发的高精度制冷/加热控制系统，能够实现高温度精度和稳定性。蕞高将内部环境温度波动控制在极小的范围内（±2mK），确保每一次测量数据的重复性与可靠性。超净空间，避免微粒污染除了温控精度，洁净度同样至关重要。悬浮微粒一旦沉积在晶圆或设备光学镜头上，将造成缺陷或信号干扰。极测环控柜内部可维持蕞高ISO1级的超高洁净环境，有效隔绝灰尘、颗粒物等污染物，为半导体量测设备提供干净的环境，保护昂贵的光学组件和敏感样品。智能集成，一站式环境配套我们的解决方案集成了精密温控、洁净控制、湿度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的综合环境配套系统。支持根据您设备的特定型号和工艺要求进行非标定制，匹配不同半导体量测设备的精密需求。设备智能管理系统提供7x24小时实时数据监控与记录，所有环境参数一目了然，数据可追溯，为质量分析和故障排查提供坚实依据。湖北0.002精密温控控温精度：提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力，温度水平均匀性严格控制在